质量流量控制系统

[主要关键词：质量流量控制系统  DGS03  控制测量气体质量流量]
质量流量控制系统DGS03主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：微电子工艺设备、，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。系统默认配置为： MAC地址：32；RS485通信波特率：19200； 控制方式：数字。
∮主要技术参数：
流量规格(N2) （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10，20，30）SLM
准确度 ±1.0% S.P .   (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.    (＜35% F.S.)
线性 ±0. 5% F.S.
重复精度 ±0.2% F.S.
工作压差范围（＜0.02MPa） 0.05~0.35Mpa    流量规格≤10SLM
0.1~0.35Mpa      流量规格＞10SLM
温度系数 零点：≤±0.05FS/℃;  调节时:≤±0.1FS/℃
耐压 3MPa
响应时间 ≤2sec
漏率 1×10-10pa.m3/sec He
密封材料 氟橡胶;   氯丁橡胶
工作环境温度 (5~45) ℃