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VUVaS 2000 双光束真空紫外光谱仪是McPherson 公司推出的世界领先的检测不同种类的材料在真空紫外波段（115-380nm 波长范围)的吸收谱、透射谱和反射谱的检测仪器。可以根据用户的要求定制不同规格的样品室和样品架，测量不同大小、不同厚度的样品，并可进一步选择偏振和荧光发射测量，为不同材料在真空紫外波段的研究与应用提供最先进的测试手段。由于VUVaS 2000 型真空紫外光谱仪采用的是真空斩波和锁相放大技术从而极大地提高了信号检测的灵敏度和信躁比，是目前在这个波段开展上述弱信号测量国际最领先的仪器产品。
【参数表】
1. 光学特征
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光度精确度
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（157nm处）≤0.05%T(RSD)
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光度准确度
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(115nm-380nm) ≤0.3%T(RSD) 标准0.2%T（RSD）
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光学稳定性
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0.5%T/小时
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光学噪声
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优于0.17%T
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2．光谱特征
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波长范围
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氘灯连续光源提供波长115nm-380nm
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单色仪
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McPherson公司改进的Seya-Namioka Model 234/302单色仪
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光栅
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III型镀MgF2 的凹面全息光栅，1200刻线/毫米
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相对孔径
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f/4.5
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波长准确度
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0.1nm
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波长重复性
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±0.03nm
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分辨率
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0.01mm狭缝分辨率为0.1nm
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带通
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带通宽度随狭缝宽度改变从0.1nm-10nm可调
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3．样品测量
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光束
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校准/可变
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斩波器
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反射型斩波器（标准工作频率为90Hz）
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探测器
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R268型光电倍增管
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测量方式
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透射谱（吸收谱）、反射谱、散射谱、激发谱
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探测器位置
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相对于发射光束成20°-180°角
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样品位置
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相对于发射光束成0°-90°角
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样品架尺寸
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可容纳1英寸直径或2x2英寸或2英寸直径的样品（根据要求订制）
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滤光片
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5个可放25mm直径滤光片的位置
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配件
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225nm长通滤光片用于230nm-380nm的光谱范围
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4.真空系统
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真空泵
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两个涡轮分子泵，闸式阀门控制净化样品区域
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真空范围
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典型工作压力为10-5torr,样品区可被单独净化
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5．控制系统
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控制器
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LabView windows软件用于波长控制和信号恢复，图形式/数字式输出反射谱及透射谱信号
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输入电压
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220 V / 15 安培 / 50 Hz
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工作环境
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一般实验室环境
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